製品・サービス

Laser Cleaner
レーザー式プローブ洗浄装置

非接触型のプローブ洗浄装置です。プローブの摩耗を防ぐことで寿命を延ばし、洗浄用消耗品の使用量も大幅に削減します。プローブカードの種類に応じて自動洗浄を計画することも可能です。

スペック

Cooling Method

Water Cooling

Dimension

W2090 x D1250 x H1883mm

Weight

Approx 1800Kg

Graphic Support

DXF by LibreCAD

Power

AC220V, 60Hz ; 3Phase /1PE

Max Current

30A

CDA

5~6kg/cm^2, ϕ10mm

  1. 酸化物結晶を効果的に除去
  2. 非接触型でプローブの長寿命化
  3. 全自動作業により、安定した洗浄品質を確保
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